磁控濺射靶材透磁率測量解決方案
項目背景
磁控濺射靶材主要應用於電子及信息産業,如集成電路 、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用於玻璃鍍膜領域;還可以應用於耐磨材料 、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業。透磁率可以作爲評估磁性靶材透磁性能的有效指标，其測試方法還沒有相應的行業标準，很大程度上制約瞭國内磁性濺射靶材的研發 、制作及工業化生産。
解決方案
1、測試設備：CIM-3140RMT透磁率測量裝置 CIM-3140RMT透磁率測量裝置是一款樣品透磁測量設備 ，主要用於(yú)磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數測量，並(bìng)對測試結果進行統計分析，可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理 、測試和數據（圖形）輸出等功能， 可滿足用戶對磁性濺射靶材的測試 、數據（報告）輸出及數據管理等需求。
2、設備特點
- ⑴、RMTest透磁測(cè)量系統爲綠色軟件 ，無需繁瑣的安裝過(guò)程。
- ⑵、測(cè)量軟件運行於(yú)Windows XP或 Win 7 操作系統下，符合Windows軟件規範，操作直觀簡捷。
- ⑶、採(cǎi)用橫向探頭測(cè)量樣品表面的透磁。
- ⑷、磁強計具備(bèi)自動清零功能 ，能一鍵對表頭零點(diǎn)進行清零 。
- ⑸、可在軟件界面選擇磁場(chǎng)測(cè)試量程，無需通過手動按鍵切換量程檔位。
- ⑹、測(cè)試結(jié)果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
- ⑺、可導(dǎo)入多組數據進行多個半徑曲線對(duì)比。
- ⑻、測(cè)試結果在PTF或%PTF坐标上可以通過雙擊波形調出單點捕捉功能，可以在軟件界面最下方顯示鼠标 當前選中位置點的相對角度和磁場(chǎng)強度值。
- ⑼、儀器自帶水平儀。
- ⑽、支持各種型号的噴墨或激光打印機，可直接打印測(cè)試報(bào)告。
- ⑾、可直接通過E-mail發送彩色的測(cè)試報(bào)告。
- ⑿、有數據庫功能,可将測(cè)試數據輸出到EXCEL中，便於(yú)對測(cè)試結果進行分析。
- ⒀、可将測(cè)試報(bào)告轉換（保存）爲圖片文件 ，以方便在論文中插圖。
3、主要技術(shù)參(cān)數
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項目 |
指标 |
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系統控制 |
PC+6616PX 16位數據(jù)採(cǎi)集卡 |
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X單軸行程 |
0-250mm，電(diàn)動調(diào)節 |
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Z單軸行程 |
0-200mm，手動(dòng)調(diào)節 |
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R旋轉軸 |
角度刻線間(jiān)隔5度，旋轉速度1-6度/秒可調(diào) |
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測試時間 |
測(cè)試時間可調(diào) ，最快60秒/圈 |
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測量範圍 |
試(shì)樣外徑(jìng)Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm |
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磁強計 |
量程 |
1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
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測量精度 |
滿(mǎn)量程達(dá)0.5% |
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測量參數 |
PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp |
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A/D數據(jù)採(cǎi)集 |
16Bits，旋轉(zhuǎn)分辨率：3600點(diǎn)/360º |
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測(cè)量結果重複(fù)度 |
小於(yú)0.5% |
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測量軟件 |
Windows 7運行環(huán)境，測(cè)量數據可以EXCEL形式保存在硬盤 ，可随時查詢 |
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測量報告 |
透磁場(chǎng)坐标和透磁率坐标 |
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合格判定 |
按标準(zhǔn)進(jìn)行判定 |
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4、軟件界面
5、測試曲線.
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